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測量分析顯微鏡

產(chǎn)品時(shí)間:2024-04-14

簡(jiǎn)要描述:

測量分析顯微鏡是一種兼顧影像、目視與納米高度測量多用的高精度、高效率測量?jì)x器。該產(chǎn)品具有電視成像與目視光學(xué)兩套瞄準系統,可人工觀(guān)察金屬表面的金相組織結構,是集光、機、電、算、影像于一體的顯微鏡。該產(chǎn)品以二維測量為主,也可作三維輔助測量,廣泛應用于電子組件、精密模具、塑料、PCB加工方面、鍍膜厚度、手機玻璃等工業(yè)領(lǐng)域。

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介:

測量分析顯微鏡是一種兼顧影像、目視與納米高度測量多用的高精度、高效率測量?jì)x器。該產(chǎn)品具有電視成像與目視光學(xué)兩套瞄準系統,可人工觀(guān)察金屬表面的金相組織結構,是集光、機、電、算、影像于一體的顯微鏡。該產(chǎn)品以二維測量為主,也可作三維輔助測量,廣泛應用于電子組件、精密模具、塑料、PCB加工方面、鍍膜厚度、手機玻璃等工業(yè)領(lǐng)域。

產(chǎn)品特點(diǎn):

1. X、Y、Z三軸0.5μm分辨力

2. 電動(dòng)Z軸分辨力0.1μm

3. 具有高度自動(dòng)測量

4. 內建偏光測量光學(xué)模塊

5. 高速/無(wú)接觸測量

6. 同軸光/底光測量

7. 可搭配白光納米檢測模塊測量納米級厚度


測量分析顯微鏡技術(shù)規格參數:

型號

PZ-3020MA

工作臺

金屬臺尺寸(mm)

500 x 330

玻璃臺尺寸(mm)

350 x 250

X、Y軸運動(dòng)行程(mm)

300 x 200

手動(dòng)Z軸行程(mm)

120

自動(dòng)Z軸行程(mm)

2

外形尺寸(mm)

825 x 660 x 910

儀器重量(kg)

130

X、Y、Z軸分辨力(μm)

0.5

自動(dòng)Z軸分辨力(μm)

0.1

示值誤差(μm)

E1XY=( 2.5+ L/100) μm (L為測量長(cháng)度,單位mm)

物鏡放大倍數誤差

包括畸變在內的放大率誤差≦0.08%

落射照明光源

可調高亮度鹵素燈

底光照明光源

可調高亮度LED燈源

 

目視系統

影像系統

物鏡放大倍數

5X、10X、20X、50X

5X、10X、20X、50X;10X Mirau物鏡

目鏡放大倍數

10X雙鏡筒

1/2”CCD攝像機

視頻總倍率

50X ~500X

142.5X ~1425X (19.5”顯示器,分辨率1440 x 900)

單層透明膜厚度測量模組

高精度測量模式

快速測量模式

厚度測量范圍

100nm ~300nm

300nm ~500nm

500nm ~3μm

3μm ~20μm

分辨力

5nm

5nm

7.5nm

0.1μm

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